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2021/12/2 17:30:34
征途国际官网上海自创的空间交变相位移(SAPS)晶圆洗濯技术,,,,,,,在兆声波产生器和晶圆之间的间隙当选取兆声波的交替相位变动,,,,,,,与前几代兆声波晶圆洗濯设备中使用的固定兆声波产生器分歧,,,,,,,SAPS技术可能在晶圆旋转时移动或倾斜产生器,,,,,,,使兆声波能量均匀地传递到晶圆(即便晶圆有翘曲)上的所有点。。。。。。SAPS工艺比传统兆声波洗濯工艺更高效,,,,,,,不会造成资料损失或影响晶圆表表粗糙度,,,,,,,可实现更彻底、更全面的清洁。。。。。。该技术已在1xnm DRAM设备及其他设备上得到验证。。。。。。